校準(zhǔn)精度：傳感器的校準(zhǔn)精度是基礎(chǔ)，即使在理想無噪聲的情況下，傳感器的精度也取決于其校準(zhǔn)到 NIST 可溯源標(biāo)準(zhǔn)源時的精度。Ophir 保證 “2-sigma" 校準(zhǔn)精度在 ±3% 以內(nèi)，95% 的情況下讀數(shù)將在真實值的 ±3% 范圍內(nèi)，99% 的情況下不超過 ±4%。

波長因素：所有用于功率 / 能量測量的吸收體在光譜上并非平坦，其吸收率會隨波長變化。如果測量波長與校準(zhǔn)波長的吸收率差異大于 1%-2%，且不能包含在總誤差中，則需要定義一條覆蓋該區(qū)域所有波長變化的連續(xù)校準(zhǔn)曲線，否則會影響測量精度。

線性度：傳感器的輸出與輸入功率或能量之間的線性關(guān)系至關(guān)重要。在高功率情況下，接近傳感器的最大量程時，可能會出現(xiàn)非線性誤差，導(dǎo)致測量不準(zhǔn)確。

光束位置和尺寸：激光束在傳感器上的位置和尺寸會影響測量精度。如果光束未位于傳感器的有效測量區(qū)域內(nèi)，或偏離中心位置，可能會產(chǎn)生額外的誤差。若整個光束在傳感器孔徑內(nèi) 50% 的中心區(qū)域（或直徑的 70%），額外誤差應(yīng)不超過 ±2%；若在 25% 的中心區(qū)域（或直徑的一半）內(nèi)，額外誤差通?？珊雎圆挥?。

脈沖速率（針對熱釋電傳感器）：熱釋電能量傳感器的讀數(shù)會隨激光脈沖速率的變化而有所不同，脈沖速率的差異可能導(dǎo)致測量精度受到影響。

顯示單元校準(zhǔn)：顯示單元的校準(zhǔn)精度也會對最終測量結(jié)果產(chǎn)生影響，如果顯示單元校準(zhǔn)不準(zhǔn)確，會導(dǎo)致讀取的功率或能量值存在偏差。

吸收體表面損傷：傳感器的吸收體表面如果受到損傷，如劃痕、污漬等，會改變其對激光的吸收特性，從而影響測量精度。

電磁干擾：周圍環(huán)境中的電磁干擾可能會對傳感器的信號傳輸和處理產(chǎn)生影響，導(dǎo)致測量結(jié)果出現(xiàn)誤差。

環(huán)境因素：環(huán)境溫度、濕度等因素的變化可能會引起傳感器的性能漂移，特別是對于熱傳感器，環(huán)境溫度的變化會影響其溫度測量的準(zhǔn)確性，進(jìn)而影響功率或能量的測量精度。